產(chǎn)品詳情
簡單介紹:
無塵室凈化車間、 凈化工程、凈化工程公司在一定空間范圍內(nèi),將空氣中的微粒子、有害空氣、**等污染物排除,并將室內(nèi)溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)的工程學(xué)科。氣流→初效凈化→加濕段→加熱段→表冷段→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃**等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過程,即可達(dá)到凈化目的,即為凈化車間。
詳情介紹:
亂流潔凈室
亂流潔凈室的主要特點(diǎn)是從來流到出流(從送風(fēng)口到回風(fēng)口)之間氣流的流通截面是變化的,潔凈室截面比送風(fēng)口截面大得多,因而不能在全室截面或者在全室工作區(qū)截面形成勻速氣流。所以,送風(fēng)口以后的流線彼此有很大或者越來越大的夾角,曲率半徑很小,氣流在室內(nèi)不可能以單一方向流動,將會彼此撞擊,將有回流、旋渦產(chǎn)生。這就決定亂流潔凈室的流態(tài)實(shí)質(zhì)是:突變流;非均勻流。
所以,概括地說,亂流潔凈室的作用原理是:當(dāng)一股干凈氣流從送風(fēng)口送入室內(nèi)時,迅速向四周擴(kuò)散、混合,同時把差不多同樣數(shù)量的氣流從回風(fēng)口排走,這股干凈氣流稀釋著室內(nèi)污染的空氣,把原來含塵濃度很高的室內(nèi)空氣沖淡了,一直達(dá)到平衡。所以氣流擴(kuò)散得越快,越均勻,稀釋的技果就越好。凈化車間、 無塵室凈化車間、 凈化車間工程、十萬級凈化車間 凈化車間 報價 凈化車間管理 凈化車間設(shè)計凈化車間、
所以,概括地說,亂流潔凈室的作用原理是:當(dāng)一股干凈氣流從送風(fēng)口送入室內(nèi)時,迅速向四周擴(kuò)散、混合,同時把差不多同樣數(shù)量的氣流從回風(fēng)口排走,這股干凈氣流稀釋著室內(nèi)污染的空氣,把原來含塵濃度很高的室內(nèi)空氣沖淡了,一直達(dá)到平衡。所以氣流擴(kuò)散得越快,越均勻,稀釋的技果就越好。凈化車間、 無塵室凈化車間、 凈化車間工程、十萬級凈化車間 凈化車間 報價 凈化車間管理 凈化車間設(shè)計凈化車間、
控制
潔凈室中的溫濕度控制
潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。
具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過25度。
潔凈室中的氣壓規(guī)定
對于平行流潔凈室《習(xí)慣上稱層流潔凈室),由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指標(biāo)。過去都參考美國20gB標(biāo)準(zhǔn),采用0.45m/s.但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風(fēng)量是極大的,為了節(jié)能,也都在探求降低速一風(fēng)速的可行性。
在我國,《空氣潔凈技術(shù)措施》和<潔凈廠房設(shè)計規(guī)范))都是這樣規(guī)定的
垂直平行流(層流)潔凈室≥0.25m/s
水平平行流(層流)潔凈室≥0.35 m/s
研究表明以上規(guī)定基本上滿足控制污染的要求,但認(rèn)為應(yīng)區(qū)別不同情況分出不同的檔別,更能體現(xiàn)節(jié)能的目的。
潔凈室中的噪聲控制
潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)一般均嚴(yán)于保護(hù)健康的標(biāo)準(zhǔn),目的在于保障操作正常進(jìn)行,滿足必要的談話聯(lián)系及**舒適的工作環(huán)境。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標(biāo)是:
1.煩惱的效應(yīng)
由于噪聲,使人感到不安寧而產(chǎn)生煩惱情緒,一般分為極安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧,比較吵鬧和極吵鬧7個煩惱等級。凡反應(yīng)水平屬于很吵鬧和極吵鬧者,即為高煩惱,高煩惱人數(shù)在總?cè)藬?shù)中的百分比即為高煩惱率。
2.對工作效率的影響
這主要看三方面的反應(yīng)水平,這三個方面是:集中精神,動作準(zhǔn)確性,工作速度;
3.對綜合通訊的干擾
這主要分為:清楚或滿意,稍困難,困難,不可能
根據(jù)中國建筑科學(xué)研究院建筑物理研究所1981年為編制《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》而進(jìn)行的測定資料,在65dB(A)以下時,只有30%的人感到高煩惱。在65—70dB(A)時,其影響對工作效率的三方面反應(yīng)表現(xiàn)出較低水平;在60dB(A)以下說話清楚滿意.60~75dB(A)時有一定困難,犬于75dB很困難。因此認(rèn)為潔凈室噪聲水平以65d)為宜,此時可使高煩惱率小于30%;保證一般通話;對工作效率影響很小潔凈室的照度控制
由于潔凈室內(nèi)的工作內(nèi)容大都有精細(xì)的要求,而且又都是密閉性房屋,所以對照明一向有很高的要求。這里有必要先說明一下無窗潔凈室的照明方式:
(1)一般照明
它指不考慮特殊的局部需要,為照亮整個被照面積而設(shè)置的照明。
(2)局部照明
這是指為增加某一指定地點(diǎn)(如工作點(diǎn))的照度而設(shè)置的照明。但在室內(nèi)照明由一般不單獨(dú)使用局部照明。
(3)混合照明
這是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明,其中一般照明的照度按《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》應(yīng)占總照度的10%—15%,但不低干150LX。 單位被照面積上接受的光通量即是照明單位勒克斯(LX)。
國外潔凈室的強(qiáng)度要求極高,例如美國關(guān)于潔凈室的幾個標(biāo)準(zhǔn)的要**.
100級: 1080-16001x
10000級: >lOOOlx
100000級: >1000LX
人工光300lx有較好的效果,當(dāng)工件精細(xì)程度更高時,500x也是允許的。對于要紅燈照明的地方,如電子行業(yè)的光刻車間,其照度一般為25—501x),
潔凈室中的防靜電
潔凈室中由于靜電引起的的事故屢有發(fā)生,因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評價其質(zhì)量的一個不可忽視的方面。
所謂靜電,是由于摩擦等原因破壞了物體中正(+)負(fù)<一)電荷等量的均勻的電中性狀態(tài),而使電荷過剩,物體呈帶電狀態(tài),由于這些電荷平時是不流動的,故稱靜電。
1.靜電電引起的靜電電擊,引起人的不**和恐懼感,并可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒,由摔倒又致傷);
2.靜電放電引起的放電電流,可導(dǎo)致諸如半導(dǎo)體元件等破壞和誤動作,例如將50塊P- MOS電路放在塑料袋內(nèi),搖晃數(shù)次后,與非門柵極嚴(yán)重?fù)舸┱哂?9塊,失效率競達(dá)78%,這是因為半導(dǎo)體器件對靜電放電十分靈敏;
3.靜電放電產(chǎn)生的電磁波可導(dǎo)致電子儀器和裝置的雜音和誤動作;
4.靜電放電的發(fā)光可導(dǎo)致照像肢片等感光破壞;
5.靜電的力學(xué)現(xiàn)象可導(dǎo)致篩孔被粉塵堵塞,紡紗線紛亂,印刷品深淺不均和制品污染;
6.靜電放電引起的*危險的災(zāi)害是成為可燃物的火源井引起爆炸,例如國外文獻(xiàn)統(tǒng)計,在手術(shù)室使用爆炸性麻醉劑的86000次中,爆炸的36次,其中由靜電引起的達(dá)21次;
作用
控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此空間的設(shè)計施工過程即可稱為凈化工程。分類
亂流式 (Turbulent Flow)
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA) 進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本低,潔凈室的擴(kuò)充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。
缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活,欲達(dá)需求之潔凈度,往往須耗時相當(dāng)長一段時間。
層流式(Laminar)
等級名稱
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等級限值
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0.1μm
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0.2μm
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0.3μm
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0.5μm
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5μm
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容積單位
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容積單位
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容積單位
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容積單位
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容積單位
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國際單位
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英制
單位
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m
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Ft
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m
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Ft
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m
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Ft
|
m
|
Ft
|
m
|
Ft
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M1.0
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350
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9.91
|
75.7
|
2.14
|
30.9
|
0.875
|
10
|
0.283
|
/
|
/
|
M1.5
|
1
|
1240
|
35.0
|
265.0
|
7.5
|
106
|
3
|
35.3
|
1
|
/
|
/
|
M2.0
|
|
3500
|
99.1
|
757
|
21.4
|
309
|
8.75
|
100
|
2.83
|
/
|
/
|
M2.5
|
10
|
12400
|
350.0
|
2650
|
75
|
1060
|
30
|
353
|
10
|
/
|
/
|
M3.0
|
|
35000
|
991.0
|
7570
|
214
|
3090
|
87.5
|
1000
|
28.3
|
/
|
/
|
M3.5
|
100
|
/
|
/
|
26500
|
750
|
10600
|
300
|
3530
|
100
|
/
|
/
|
M4.0
|
|
/
|
/
|
75700
|
2140
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30900
|
875
|
10000
|
283
|
/
|
/
|
M4.5
|
1000
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
35300
|
1000
|
247
|
7
|
M5.0
|
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
100000
|
2830
|
618
|
17.5
|
M5.5
|
10000
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
353000
|
10000
|
2470
|
70
|
M6.0
|
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
1000000
|
28300
|
6180
|
175
|
M6.5
|
100000
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
3530000
|
100000
|
24700
|
700
|
M7.0
|
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
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10000000
|
283000
|
61800
|
1750
|
層流式空氣氣流運(yùn)動成一均勻之直線型,空氣由覆蓋率100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種:
局部潔凈工程
潔凈工作臺:等級Class 1~100級。
潔凈工作棚:為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用獨(dú)立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較**之潔凈空間,其等級為10~1000級,高度在2.5米左右,覆蓋面積約10m2以下,四支支柱并加裝活動輪,可為彈性運(yùn)用。無塵室凈化車間、 凈化工程、凈化工程公司
空氣潔凈度等級標(biāo)準(zhǔn)及規(guī)范
經(jīng)濟(jì)和科技發(fā)達(dá)的國家和地區(qū)都有自己的空氣潔凈標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范標(biāo)準(zhǔn),都規(guī)定了有關(guān)的潔凈度等級,例如美國、日本、西歐、北歐、俄羅斯等。我國于1984年頒布《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》(GBJ73-84),1996年該規(guī)范進(jìn)行了較大的修改,1990年頒布《潔凈室施工及驗收規(guī)范》(JGJ71-90)以指導(dǎo)施工和驗收的重要文件。目前,該規(guī)范在重新修訂中。
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GBJ73-84規(guī)定的潔凈度等級
等級
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每立方米(升)空氣中》0.5μm塵粒數(shù)
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每立方米(升)空氣中》5μm塵粒數(shù)
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100
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《35*100(〈3.5〉
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1000
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《35*1000(〈35〉
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《250(〈0.25〉
|
10000
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《35*10000(〈350〉
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《2500(〈2.5〉
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100000
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《35*100000(〈3500〉
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《25000(〈25〉
|
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美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209E中的潔凈等級